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光刻单元集的切割重组选择算法

王绍钧 杨立才

计算机应用研究1995，Vol.12Issue(4)：P.51-52,2.
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计算机应用研究1995，Vol.12Issue(4)：P.51-52,2.

光刻单元集的切割重组选择算法

王绍钧 1杨立才1

作者信息

  • 1. 山东工业大学自动化工程系
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摘要

关键词

集成电路/VLSI/光刻/切割/算法/微细加工

分类

信息技术与安全科学

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王绍钧,杨立才..光刻单元集的切割重组选择算法[J].计算机应用研究,1995,12(4):P.51-52,2.

计算机应用研究

1001-3695

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