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MBE Ⅳ分子束外延设备的设计特点和研制经验

黄绮高宗仁

现代科学仪器Issue(3)：10-11,2.

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现代科学仪器Issue(3)：10-11,2.

MBE Ⅳ分子束外延设备的设计特点和研制经验

黄绮 ¹高宗仁¹

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摘要

关键词

分子束/外延设备/设计/研制/半导体

分类

信息技术与安全科学

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黄绮,高宗仁..MBE Ⅳ分子束外延设备的设计特点和研制经验[J].现代科学仪器,1991,(3):10-11,2.

现代科学仪器

ISSN：1003-8892

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