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PMMALB膜的高分辨X线刻蚀

顾宁 田超杨

高技术通讯1993，Vol.3Issue(6)：18-21,4.
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高技术通讯1993，Vol.3Issue(6)：18-21,4.

PMMALB膜的高分辨X线刻蚀

顾宁 1田超杨1

作者信息

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摘要

关键词

分辨率/纳米结构/LB膜

分类

信息技术与安全科学

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顾宁,田超杨..PMMALB膜的高分辨X线刻蚀[J].高技术通讯,1993,3(6):18-21,4.

高技术通讯

1002-0470

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