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理化检验:物理分册
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金刚石薄膜制备和评价
金刚石薄膜制备和评价
邱万奇
周克崧
理化检验:物理分册
1998,Vol.34
Issue(6):14-16,36,4.
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理化检验:物理分册
1998,Vol.34
Issue(6)
:14-16,36,4.
金刚石薄膜制备和评价
邱万奇
1
周克崧
1
作者信息
1.
华南理工大学
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摘要
关键词
金刚石薄膜
/
合成
/
热丝
/
HFCVD
/
薄膜制备
分类
化学化工
引用本文
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邱万奇,周克崧..金刚石薄膜制备和评价[J].理化检验:物理分册,1998,34(6):14-16,36,4.
基金项目
广东省自然科学基金 B6-102-234 ()
理化检验:物理分册
ISSN:
1001-4012
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