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金刚石薄膜制备和评价

邱万奇 周克崧

理化检验:物理分册1998,Vol.34Issue(6):14-16,36,4.
理化检验:物理分册1998,Vol.34Issue(6):14-16,36,4.

金刚石薄膜制备和评价

邱万奇 1周克崧1

作者信息

  • 1. 华南理工大学
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摘要

关键词

金刚石薄膜/合成/热丝/HFCVD/薄膜制备

分类

化学化工

引用本文复制引用

邱万奇,周克崧..金刚石薄膜制备和评价[J].理化检验:物理分册,1998,34(6):14-16,36,4.

基金项目

广东省自然科学基金 B6-102-234 ()

理化检验:物理分册

1001-4012

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