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强脉冲金属离子注入制备硅化物

张通和 陈俊

高技术通讯1993，Vol.3Issue(9)：1-6,6.
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高技术通讯1993，Vol.3Issue(9)：1-6,6.

强脉冲金属离子注入制备硅化物

张通和 1陈俊1

作者信息

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摘要

关键词

金属/离子注入/单晶/硅化物

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张通和,陈俊..强脉冲金属离子注入制备硅化物[J].高技术通讯,1993,3(9):1-6,6.

基金项目

863计划资助项目 （）

高技术通讯

1002-0470

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