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冷阴极离子源辅助镀膜技术及应用

汤彦骐

激光技术1997，Vol.21Issue(5)：318-320,3.
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激光技术1997，Vol.21Issue(5)：318-320,3.

冷阴极离子源辅助镀膜技术及应用

汤彦骐1

作者信息

  • 1. 云南光学仪器厂
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摘要

关键词

离子束辅助蒸发/冷阴极离子源/真空镀膜技术

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

汤彦骐..冷阴极离子源辅助镀膜技术及应用[J].激光技术,1997,21(5):318-320,3.

激光技术

OA北大核心CSCD

1001-3806

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