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离子束缺陷工程与离子注入激活率的提高

卢武星 刘洁

北京师范大学学报：自然科学版1997，Vol.33Issue(4)：487-491,5.
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北京师范大学学报：自然科学版1997，Vol.33Issue(4)：487-491,5.

离子束缺陷工程与离子注入激活率的提高

卢武星 1刘洁1

作者信息

  • 1. 北京师范大学低能核物理研究所
  • 折叠

摘要

关键词

离子束缺陷工程/掺杂/激活率/离子注入

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

卢武星,刘洁..离子束缺陷工程与离子注入激活率的提高[J].北京师范大学学报：自然科学版,1997,33(4):487-491,5.

基金项目

国家自然科学基金!19345006 （）

北京师范大学学报：自然科学版

OA北大核心CSCD

0476-0301

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