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定值法膜厚监控参数的确定

林永钟 林坚

福建师范大学学报：自然科学版1996，Vol.12Issue(4)：P.43-47,5.
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福建师范大学学报：自然科学版1996，Vol.12Issue(4)：P.43-47,5.

定值法膜厚监控参数的确定

林永钟 1林坚1

作者信息

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摘要

关键词

定值法/数值计算/薄膜/厚度/监控技术

分类

数理科学

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林永钟,林坚..定值法膜厚监控参数的确定[J].福建师范大学学报：自然科学版,1996,12(4):P.43-47,5.

福建师范大学学报：自然科学版

1000-5277

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