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TiO_2纳米粉末的热壁低压MOCVD方法制备

孙一军 张良莹 姚熹

硅酸盐通报1998，Vol.17Issue(5)：P.8-12,32,6.
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硅酸盐通报1998，Vol.17Issue(5)：P.8-12,32,6.

TiO_2纳米粉末的热壁低压MOCVD方法制备

孙一军 1张良莹 1姚熹1

作者信息

  • 1. 西安交通大学精细功能电子材料与器件国家专业实验室
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摘要

关键词

MOCVD/纳米粉末/制备/二氧化钛

分类

化学化工

引用本文复制引用

孙一军,张良莹,姚熹..TiO_2纳米粉末的热壁低压MOCVD方法制备[J].硅酸盐通报,1998,17(5):P.8-12,32,6.

硅酸盐通报

OACSCD

1001-1625

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