无机材料学报1996，Vol.11Issue(3)：P.493-498,6.
陶瓷衬底上淀积薄膜α－Fe_2O_3材料的微结构和气敏特性研究
柴常春 1彭军 1郭振琪 1镇桂芹1
作者信息
- 1. 西安电子科技大学微电子学研究所,西北大学现代分析测试中心,西安通信学院
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摘要
关键词
微结构/氧化铁/气敏性/陶瓷薄膜/衬底/淀积分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
柴常春,彭军,郭振琪,镇桂芹..陶瓷衬底上淀积薄膜α－Fe_2O_3材料的微结构和气敏特性研究[J].无机材料学报,1996,11(3):P.493-498,6.
