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反应磁控溅射沉积ITO膜的X射线衍射结构分析
反应磁控溅射沉积ITO膜的X射线衍射结构分析
茅昕辉
陈国平
电子器件
1996，Vol.19
Issue(2)：P.77-84,8.
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电子器件
1996，Vol.19
Issue(2)
：P.77-84,8.
反应磁控溅射沉积ITO膜的X射线衍射结构分析
茅昕辉
1
陈国平
1
作者信息
1.
东南大学薄膜研究所
折叠
摘要
关键词
氧化铟锡
/
ITO膜
/
反应磁控测射
/
X射线
/
衍射
分类
信息技术与安全科学
引用本文
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茅昕辉,陈国平..反应磁控溅射沉积ITO膜的X射线衍射结构分析[J].电子器件,1996,19(2):P.77-84,8.
电子器件
ISSN：
1005-9490
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