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激光技术
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水平式MOCVD系统生长速率均匀性的研究
水平式MOCVD系统生长速率均匀性的研究
刘国军
徐莉
史全林
王喜祥
张千勇
激光技术
1994，Vol.18
Issue(4)：P.220-223,4.
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激光技术
1994，Vol.18
Issue(4)
：P.220-223,4.
水平式MOCVD系统生长速率均匀性的研究
刘国军
1
徐莉
1
史全林
1
王喜祥
1
张千勇
1
作者信息
1.
长春光学精密机械学院
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摘要
关键词
MOCVD
/
生长速率
/
均匀性
/
掺杂
分类
信息技术与安全科学
引用本文
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刘国军,徐莉,史全林,王喜祥,张千勇..水平式MOCVD系统生长速率均匀性的研究[J].激光技术,1994,18(4):P.220-223,4.
激光技术
ISSN：
1001-3806
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