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金刚石厚膜的制备及应用研究

金曾孙 吕宪义 顾长志 王春蕾 白亦真 皇甫萍 秦东 邹广田

高技术通讯1994，Vol.4Issue(8)：P.1-4,4.
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高技术通讯1994，Vol.4Issue(8)：P.1-4,4.

金刚石厚膜的制备及应用研究

金曾孙 1吕宪义 1顾长志 1王春蕾 1白亦真 1皇甫萍 1秦东 1邹广田1

作者信息

  • 1. 吉林大学超硬材料国家重点实验室
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摘要

关键词

CVD/金刚石薄膜/半导体薄膜/制备

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

金曾孙,吕宪义,顾长志,王春蕾,白亦真,皇甫萍,秦东,邹广田..金刚石厚膜的制备及应用研究[J].高技术通讯,1994,4(8):P.1-4,4.

基金项目

863计划资助项目 （）

高技术通讯

1002-0470

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