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硅微声压传感器

蔡公和 刘忠玉 蔡丽梅

传感技术学报1998，Vol.11Issue(2)：P.56-62,7.
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传感技术学报1998，Vol.11Issue(2)：P.56-62,7.

硅微声压传感器

蔡公和 1刘忠玉 1蔡丽梅1

作者信息

  • 1. 东北传感技术研究所,哈尔滨150001
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摘要

关键词

硅微声压传感器/压阻式/传感器

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

蔡公和,刘忠玉,蔡丽梅..硅微声压传感器[J].传感技术学报,1998,11(2):P.56-62,7.

传感技术学报

OACSCD

1004-1699

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