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辽宁大学学报:自然科学版
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C+注入Si的晶格畸变
C+注入Si的晶格畸变
马德录
韩宁
辽宁大学学报:自然科学版
1997,Vol.24
Issue(2):19-23,5.
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辽宁大学学报:自然科学版
1997,Vol.24
Issue(2)
:19-23,5.
C+注入Si的晶格畸变
马德录
1
韩宁
1
作者信息
1.
辽宁大学物理系
折叠
摘要
关键词
离子注入
/
摇摆曲线
/
晶格畸变
/
硅
/
X射线衍射法
分类
数理科学
引用本文
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马德录,韩宁..C+注入Si的晶格畸变[J].辽宁大学学报:自然科学版,1997,24(2):19-23,5.
辽宁大学学报:自然科学版
ISSN:
1000-5846
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