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C+注入Si的晶格畸变

马德录 韩宁

辽宁大学学报:自然科学版1997,Vol.24Issue(2):19-23,5.
辽宁大学学报:自然科学版1997,Vol.24Issue(2):19-23,5.

C+注入Si的晶格畸变

马德录 1韩宁1

作者信息

  • 1. 辽宁大学物理系
  • 折叠

摘要

关键词

离子注入/摇摆曲线/晶格畸变//X射线衍射法

分类

数理科学

引用本文复制引用

马德录,韩宁..C+注入Si的晶格畸变[J].辽宁大学学报:自然科学版,1997,24(2):19-23,5.

辽宁大学学报:自然科学版

1000-5846

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