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微波放电法生长GaS薄膜的性质

陈溪滢 陈良尧

物理学报1997，Vol.46Issue(4)：826-832,7.
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物理学报1997，Vol.46Issue(4)：826-832,7.

微波放电法生长GaS薄膜的性质

陈溪滢 1陈良尧1

作者信息

  • 1. 复旦大学应用表面物理国家重点实验室
  • 折叠

摘要

关键词

硫化镓/薄膜生长/微波放电法/半导体

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

陈溪滢,陈良尧..微波放电法生长GaS薄膜的性质[J].物理学报,1997,46(4):826-832,7.

基金项目

国家自然科学基金 （）

物理学报

OA北大核心CSCD

1000-3290

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