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非晶态半导体多层膜的TEM及HREM研究

毛国民 严勇

南京大学学报：自然科学版1989，Vol.25Issue(3)：42-49,8.
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南京大学学报：自然科学版1989，Vol.25Issue(3)：42-49,8.

非晶态半导体多层膜的TEM及HREM研究

毛国民 1严勇1

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摘要

关键词

非晶态/半导体/多层膜/TE/HREM

分类

信息技术与安全科学

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毛国民,严勇..非晶态半导体多层膜的TEM及HREM研究[J].南京大学学报：自然科学版,1989,25(3):42-49,8.

南京大学学报：自然科学版

0469-5097

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