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化学气相沉积

田民波

表面技术Issue(3)：33-37,5.
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表面技术Issue(3)：33-37,5.

化学气相沉积

田民波1

作者信息

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摘要

关键词

化学气相沉积/CVD/半导体

分类

矿业与冶金

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田民波..化学气相沉积[J].表面技术,1989,(3):33-37,5.

表面技术

1001-3660

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