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扫描探针显微镜的最新技术进展及应用

赵清亮 王景贺 李旦 董申

传感技术学报1999，Vol.12Issue(4)：P.321-326,6.
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传感技术学报1999，Vol.12Issue(4)：P.321-326,6.

扫描探针显微镜的最新技术进展及应用

赵清亮 1王景贺 1李旦 1董申1

作者信息

  • 1. 哈尔滨工业大学精密工程研究所,426信箱哈尔滨150001
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摘要

关键词

扫描探针显微镜/表面探测/成像原理

分类

机械制造

引用本文复制引用

赵清亮,王景贺,李旦,董申..扫描探针显微镜的最新技术进展及应用[J].传感技术学报,1999,12(4):P.321-326,6.

传感技术学报

OACSCD

1004-1699

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