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同步辐射软X射线多层膜分光反射率测试装置

薛松 邵景鸿 徐正良 孙剑辉

光学精密工程1993，Vol.1Issue(3)：P.24-28,5.
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光学精密工程1993，Vol.1Issue(3)：P.24-28,5.

同步辐射软X射线多层膜分光反射率测试装置

薛松 1邵景鸿 1徐正良 1孙剑辉1

作者信息

  • 1. 中国科学院长春光学精密机械研究所,长春130022
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摘要

关键词

同步辐射/X辐射/多层膜/反射率

分类

机械制造

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薛松,邵景鸿,徐正良,孙剑辉..同步辐射软X射线多层膜分光反射率测试装置[J].光学精密工程,1993,1(3):P.24-28,5.

光学精密工程

1004-924X

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