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光栅尺动态测量仪

刘岩 龙科慧 王立朋 季思

光学精密工程1993，Vol.1Issue(2)：P.14-19,6.
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光学精密工程1993，Vol.1Issue(2)：P.14-19,6.

光栅尺动态测量仪

刘岩 1龙科慧 1王立朋 1季思1

作者信息

  • 1. 中国科学院长春光学精密机械研究所,长春130022
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摘要

关键词

光栅尺/激光差外干涉/测量仪

分类

机械制造

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刘岩,龙科慧,王立朋,季思..光栅尺动态测量仪[J].光学精密工程,1993,1(2):P.14-19,6.

光学精密工程

1004-924X

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