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多晶硅薄膜和金属铝接触的研究

马平西 师延进

大连理工大学学报1989，Vol.29Issue(2)：197-202,6.
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大连理工大学学报1989，Vol.29Issue(2)：197-202,6.

多晶硅薄膜和金属铝接触的研究

马平西 1师延进1

作者信息

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摘要

关键词

多晶硅/薄膜/铝/欧姆接触

分类

信息技术与安全科学

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马平西,师延进..多晶硅薄膜和金属铝接触的研究[J].大连理工大学学报,1989,29(2):197-202,6.

大连理工大学学报

OACSCD

1000-8608

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