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α—Si：H／α—SiNx：H超晶格薄膜的光声谱

邱树业 王志超

南京大学学报：自然科学版1990，Vol.26Issue(1)：32-38,7.
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南京大学学报：自然科学版1990，Vol.26Issue(1)：32-38,7.

α—Si：H／α—SiNx：H超晶格薄膜的光声谱

邱树业 1王志超1

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摘要

关键词

半导体/超晶格/薄膜/光声谱

分类

信息技术与安全科学

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邱树业,王志超..α—Si：H／α—SiNx：H超晶格薄膜的光声谱[J].南京大学学报：自然科学版,1990,26(1):32-38,7.

南京大学学报：自然科学版

0469-5097

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