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可编程控制器在强流离子注入机真空系统中的应用

沈雨

电子器件1997，Vol.20Issue(1)：P.482-487,6.
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电子器件1997，Vol.20Issue(1)：P.482-487,6.

可编程控制器在强流离子注入机真空系统中的应用

沈雨1

作者信息

  • 1. 电子部第四十八研究所,长沙410111
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摘要

关键词

可编程控制器/强流离子注入机/真空系统

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

沈雨..可编程控制器在强流离子注入机真空系统中的应用[J].电子器件,1997,20(1):P.482-487,6.

电子器件

1005-9490

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