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利用MEMS研制微型气流传感器的特性研究

温殿忠 方华军

传感技术学报1998，Vol.11Issue(4)：P.51-55,5.
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传感技术学报1998，Vol.11Issue(4)：P.51-55,5.

利用MEMS研制微型气流传感器的特性研究

温殿忠 1方华军1

作者信息

  • 1. 黑龙江大学信息与电子科学系,哈尔滨150080
  • 折叠

摘要

关键词

硅微机械加工/气流传感器/多晶硅电阻/特性分析

分类

矿业与冶金

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温殿忠,方华军..利用MEMS研制微型气流传感器的特性研究[J].传感技术学报,1998,11(4):P.51-55,5.

基金项目

黑龙江大学科研项目 （）

传感技术学报

OACSCD

1004-1699

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