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掺硼金刚石膜热敏电阻器的制备工艺及温度响应

贾宇明 杨邦朝 李言荣

电子科技大学学报1996，Vol.25Issue(3)：P.268-270,3.
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电子科技大学学报1996，Vol.25Issue(3)：P.268-270,3.

掺硼金刚石膜热敏电阻器的制备工艺及温度响应

贾宇明 1杨邦朝 1李言荣1

作者信息

  • 1. 电子科技大学信息材料工程学院
  • 折叠

摘要

关键词

掺硼金刚石膜/热敏电阻器/温度响应/制备工艺

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

贾宇明,杨邦朝,李言荣..掺硼金刚石膜热敏电阻器的制备工艺及温度响应[J].电子科技大学学报,1996,25(3):P.268-270,3.

基金项目

国家自然科学基金 （）

电子科技大学学报

OA北大核心CSCD

1001-0548

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