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离子束增强沉积氮化硅薄膜的超显微硬度

周平南 王建锋

理化检验：物理分册1995，Vol.31Issue(6)：31-32,2.
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理化检验：物理分册1995，Vol.31Issue(6)：31-32,2.

离子束增强沉积氮化硅薄膜的超显微硬度

周平南 1王建锋1

作者信息

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摘要

关键词

超显微硬度/氮化硅/薄膜/离子束增强

分类

数理科学

引用本文复制引用

周平南,王建锋..离子束增强沉积氮化硅薄膜的超显微硬度[J].理化检验：物理分册,1995,31(6):31-32,2.

基金项目

国家"八六三"计划资助项目 （）

课题代号:863-715-23-06-02 （）

理化检验：物理分册

1001-4012

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