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辉光放电型溅射中性粒子质谱的研究

唐政清 岳国健

电子器件Issue(2)：13-18,6.
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电子器件Issue(2)：13-18,6.

辉光放电型溅射中性粒子质谱的研究

唐政清 1岳国健1

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摘要

关键词

溅射/中性粒子/质谱/SNMS/辉光放电

分类

机械制造

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唐政清,岳国健..辉光放电型溅射中性粒子质谱的研究[J].电子器件,1989,(2):13-18,6.

电子器件

1005-9490

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