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气体放电电子束及其在微电子加工中的应用

杨正名

电子器件Issue(1)：P.1-5,14,6.
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电子器件Issue(1)：P.1-5,14,6.

气体放电电子束及其在微电子加工中的应用

杨正名1

作者信息

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摘要

关键词

微电子加工/电子束/气体放电

分类

信息技术与安全科学

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杨正名..气体放电电子束及其在微电子加工中的应用[J].电子器件,1989,(1):P.1-5,14,6.

电子器件

1005-9490

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