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微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜的进展

郑怀礼

表面技术1997，Vol.26Issue(3)：4-5,35,3.
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表面技术1997，Vol.26Issue(3)：4-5,35,3.

微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜的进展

郑怀礼1

作者信息

  • 1. 重庆建筑大学基础科学系
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摘要

关键词

化学气相沉积法/微波等离子体/金刚石薄膜/镀膜

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

郑怀礼..微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜的进展[J].表面技术,1997,26(3):4-5,35,3.

表面技术

1001-3660

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