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硼扩散杂质分布研究

王荣 尚世琦 杨学昌

辽宁大学学报：自然科学版1994，Vol.21Issue(2)：P.38-43,6.
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辽宁大学学报：自然科学版1994，Vol.21Issue(2)：P.38-43,6.

硼扩散杂质分布研究

王荣 1尚世琦 1杨学昌1

作者信息

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摘要

关键词

硼扩散/杂质分布/半导体/硅

分类

信息技术与安全科学

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王荣,尚世琦,杨学昌..硼扩散杂质分布研究[J].辽宁大学学报：自然科学版,1994,21(2):P.38-43,6.

辽宁大学学报：自然科学版

1000-5846

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