物理学报1995，Vol.44Issue(2)：P.184-188,5.
亚微米光栅周期的软X射线多层膜光栅的衍射效率研究
袁利祥 1范正修 1殷功杰 1邵建达 1易葵 1崔明启 2刘丽冰 2缪建伟 2陈光辉 2沈孝良3
作者信息
- 1. 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800
- 2. 中国科学院高能物理研究所,北京100039
- 3. 复旦大学分析测试中心,上海200433
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摘要
关键词
软X射线/多层膜光栅/衍射效率/亚微米周期分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
袁利祥,范正修,殷功杰,邵建达,易葵,崔明启,刘丽冰,缪建伟,陈光辉,沈孝良..亚微米光栅周期的软X射线多层膜光栅的衍射效率研究[J].物理学报,1995,44(2):P.184-188,5.
