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DC　PJ－CVD等离子体炬通道中的电弧行为

李惠琪 钟国仿 吕反修 杨让

北京科技大学学报1994，Vol.16Issue(6)：P.547-550,4.
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北京科技大学学报1994，Vol.16Issue(6)：P.547-550,4.

DC　PJ－CVD等离子体炬通道中的电弧行为

李惠琪 1钟国仿 1吕反修 1杨让1

作者信息

  • 1. 北京科技大学材料科学与工程系
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摘要

关键词

等离子体/等离子喷射/电弧/等离子体炬

分类

矿业与冶金

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李惠琪,钟国仿,吕反修,杨让..DC　PJ－CVD等离子体炬通道中的电弧行为[J].北京科技大学学报,1994,16(6):P.547-550,4.

北京科技大学学报

OA北大核心CSCD

1001-053X

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