东南大学学报：自然科学版1997，Vol.27Issue(4)：P.38-43,6.
硅栅 MOS 结构 Poly-Si/SiO_2 界面研究
赵杰 1魏同立 1张安康 1赵梦碧1
作者信息
- 1. 东南大学微电子中心 中国华晶电子集团理化分析中心
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摘要
关键词
界面/热载流子/硅栅MOS结构/Poly-硅/二氧化硅分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
赵杰,魏同立,张安康,赵梦碧..硅栅 MOS 结构 Poly-Si/SiO_2 界面研究[J].东南大学学报：自然科学版,1997,27(4):P.38-43,6.
