北京师范大学学报：自然科学版1994，Vol.30Issue(3)：P.357-362,6.
Mo离子注入硅和快速退火硅化钼的形成
张通和 1吴瑜光 1梁宏 1钱卫东 1罗晏1
作者信息
- 1. 北京师范大学低能核物理研究所,国家教委射线束材料工程实验室
- 折叠
摘要
关键词
钼离子/硅/离子注入/硅化钼分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张通和,吴瑜光,梁宏,钱卫东,罗晏..Mo离子注入硅和快速退火硅化钼的形成[J].北京师范大学学报：自然科学版,1994,30(3):P.357-362,6.基金项目
国家自然科学基金 （）
国家"八六三"高科技和北京市自然科学基金 （）
