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Pd合金／Si接触过渡层的结构组分研究

孙承永

西安电子科技大学学报1992，Vol.19Issue(2)：59-63,5.
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西安电子科技大学学报1992，Vol.19Issue(2)：59-63,5.

Pd合金／Si接触过渡层的结构组分研究

孙承永1

作者信息

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摘要

关键词

Pd合金/过渡层/相分层/集成电路

分类

信息技术与安全科学

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孙承永..Pd合金／Si接触过渡层的结构组分研究[J].西安电子科技大学学报,1992,19(2):59-63,5.

西安电子科技大学学报

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1001-2400

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