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PECVD纳米晶粒硅薄膜的可见电致发光

佟嵩 刘湘娜

物理学报1997，Vol.46Issue(6)：1217-1222,6.
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物理学报1997，Vol.46Issue(6)：1217-1222,6.

PECVD纳米晶粒硅薄膜的可见电致发光

佟嵩 1刘湘娜1

作者信息

  • 1. 南京大学物理系
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摘要

关键词

PECVD/纳米晶/硅/薄膜/电致发光器件

分类

数理科学

引用本文复制引用

佟嵩,刘湘娜..PECVD纳米晶粒硅薄膜的可见电致发光[J].物理学报,1997,46(6):1217-1222,6.

基金项目

国家自然科学基金 （）

物理学报

OA北大核心CSCD

1000-3290

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