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光学刻蚀分辨率的极限

顾宁 鲁武

东南大学学报：自然科学版1993，Vol.23Issue(6)：P.101-105,5.
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东南大学学报：自然科学版1993，Vol.23Issue(6)：P.101-105,5.

光学刻蚀分辨率的极限

顾宁 1鲁武1

作者信息

  • 1. 东南大学生物科学与医学工程系
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摘要

关键词

光学刻蚀/分辨率/极限

分类

信息技术与安全科学

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顾宁,鲁武..光学刻蚀分辨率的极限[J].东南大学学报：自然科学版,1993,23(6):P.101-105,5.

东南大学学报：自然科学版

OACSCD

1001-0505

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