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SiC／Si异质生长的研究

朱作云 李跃进

西安电子科技大学学报1997，Vol.24Issue(1)：122-125,4.
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西安电子科技大学学报1997，Vol.24Issue(1)：122-125,4.

SiC／Si异质生长的研究

朱作云 1李跃进1

作者信息

  • 1. 西安电子科技大学微电子研究所
  • 折叠

摘要

关键词

APCVD/异质外延/缓冲层/半导体材料/碳化硅

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

朱作云,李跃进..SiC／Si异质生长的研究[J].西安电子科技大学学报,1997,24(1):122-125,4.

基金项目

军事电子预研基金 （）

西安电子科技大学学报

OA北大核心CSCD

1001-2400

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