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超大规模集成电路的栅氧化技术

卢豫曾 蒋保运

电子科技大学学报1990，Vol.19Issue(1)：72-76,5.
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电子科技大学学报1990，Vol.19Issue(1)：72-76,5.

超大规模集成电路的栅氧化技术

卢豫曾 1蒋保运1

作者信息

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摘要

关键词

超大规模/集成电路/栅氧化技术

分类

信息技术与安全科学

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卢豫曾,蒋保运..超大规模集成电路的栅氧化技术[J].电子科技大学学报,1990,19(1):72-76,5.

基金项目

国家自然科学基金 （）

电子科技大学学报

OACSCD

1001-0548

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