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微波等离子体化学气相淀积纳米级 ZrO_2薄膜

曹传宝 喻维杰 彭定坤 孟广耀

无机材料学报1992，Vol.7Issue(3)：P.323-328,6.
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无机材料学报1992，Vol.7Issue(3)：P.323-328,6.

微波等离子体化学气相淀积纳米级 ZrO_2薄膜

曹传宝 1喻维杰 1彭定坤 1孟广耀1

作者信息

  • 1. 中国科技大学材料科学与工程系中国科学院中国科技大学结构分析研究实验室,合肥230026
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摘要

关键词

薄膜/化学气相淀积/氧化锆

分类

化学化工

引用本文复制引用

曹传宝,喻维杰,彭定坤,孟广耀..微波等离子体化学气相淀积纳米级 ZrO_2薄膜[J].无机材料学报,1992,7(3):P.323-328,6.

无机材料学报

OA北大核心CSCD

1000-324X

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