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低气压气体放电电子束淀积类金刚石薄膜的光学特性

罗宗南

传感技术学报1994,Vol.7Issue(4):13-17,5.
传感技术学报1994,Vol.7Issue(4):13-17,5.

低气压气体放电电子束淀积类金刚石薄膜的光学特性

罗宗南1

作者信息

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摘要

关键词

金刚石薄膜/光学特性/电子束淀积/气体放电

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

罗宗南..低气压气体放电电子束淀积类金刚石薄膜的光学特性[J].传感技术学报,1994,7(4):13-17,5.

基金项目

国家自然科学基金资助项目 ()

传感技术学报

1004-1699

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