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高精度光栅刻划中的综合误差修正技术

陈骥 杨世雄 顾庆祥 余红

重庆大学学报：自然科学版1994，Vol.17Issue(3)：P.7-12,6.
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重庆大学学报：自然科学版1994，Vol.17Issue(3)：P.7-12,6.

高精度光栅刻划中的综合误差修正技术

陈骥 1杨世雄 1顾庆祥 1余红1

作者信息

  • 1. 重庆大学光电精密仪器系
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摘要

关键词

光栅/刻划/综合误差/修正

分类

机械制造

引用本文复制引用

陈骥,杨世雄,顾庆祥,余红..高精度光栅刻划中的综合误差修正技术[J].重庆大学学报：自然科学版,1994,17(3):P.7-12,6.

基金项目

国家自然科学基金 （）

重庆大学学报：自然科学版

OA北大核心CSCD

1000-582X

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