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华东师范大学学报：自然科学版
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中子辐照半绝缘硅衬底上的SOI技术
中子辐照半绝缘硅衬底上的SOI技术
李琼
林成鲁
华东师范大学学报：自然科学版
Issue(1)：35-40,6.
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华东师范大学学报：自然科学版
Issue(1)
：35-40,6.
中子辐照半绝缘硅衬底上的SOI技术
李琼
1
林成鲁
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摘要
关键词
SOI技术
/
MOS器件
/
激光退火
/
SOI结构
分类
信息技术与安全科学
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李琼,林成鲁..中子辐照半绝缘硅衬底上的SOI技术[J].华东师范大学学报：自然科学版,1991,(1):35-40,6.
华东师范大学学报：自然科学版
OA
CSCD
ISSN：
1000-5641
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