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电子束在动态混合沉积TiN中的作用

李国卿 刘向红 宫泽祥 马腾才 黑祖昆 翟光玉 朱戈

大连理工大学学报1994，Vol.34Issue(4)：P.394-398,5.
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大连理工大学学报1994，Vol.34Issue(4)：P.394-398,5.

电子束在动态混合沉积TiN中的作用

李国卿 1刘向红 1宫泽祥 1马腾才 1黑祖昆 1翟光玉 1朱戈1

作者信息

  • 1. 三束材料改性国家重点实验室大连理工大学分部,大连海运学院,大连化学工业公司,丹东日飞公司
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摘要

关键词

电子束/沉积/氮化钛/镀膜

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

李国卿,刘向红,宫泽祥,马腾才,黑祖昆,翟光玉,朱戈..电子束在动态混合沉积TiN中的作用[J].大连理工大学学报,1994,34(4):P.394-398,5.

大连理工大学学报

OA北大核心CSCD

1000-8608

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