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硅基热线式气敏元件及其特性

全宝富 金丽妍 金海英 孙良彦 孙承松

传感技术学报1999，Vol.12Issue(3)：P.206-209,4.
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传感技术学报1999，Vol.12Issue(3)：P.206-209,4.

硅基热线式气敏元件及其特性

全宝富 1金丽妍 1金海英 1孙良彦 1孙承松2

作者信息

  • 1. 吉林大学电子工程系,长春130023
  • 2. 沈阳工业大学电子工程系,沈阳110023
  • 折叠

摘要

关键词

气敏元件/硅/平面热线式/气敏特性

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

全宝富,金丽妍,金海英,孙良彦,孙承松..硅基热线式气敏元件及其特性[J].传感技术学报,1999,12(3):P.206-209,4.

基金项目

国家自然科学基金 （）

传感技术学报

OACSCD

1004-1699

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