无机材料学报1993，Vol.8Issue(3)：P.316-320,5.
不同能量离子束辅助淀积合成氮化铝薄膜的研究
杨杰 1王晨 1陶琨 1范玉殿1
作者信息
- 1. 清华大学材料科学与工程系,北京100084
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摘要
关键词
氮化铝/薄膜/离子束/淀积/晶体分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
杨杰,王晨,陶琨,范玉殿..不同能量离子束辅助淀积合成氮化铝薄膜的研究[J].无机材料学报,1993,8(3):P.316-320,5.基金项目
国家自然科学基金 （）
中关村分析测试基金资助 （）
