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国防科技大学学报
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混合物薄膜折射率与膜孔洞率关系研究
混合物薄膜折射率与膜孔洞率关系研究
陈哲
高伯龙
国防科技大学学报
1990，Vol.12
Issue(1)：52-58,7.
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国防科技大学学报
1990，Vol.12
Issue(1)
：52-58,7.
混合物薄膜折射率与膜孔洞率关系研究
陈哲
1
高伯龙
1
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摘要
关键词
薄膜
/
混合物
/
折射率
/
TiO2
/
Ta2O5
分类
数理科学
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陈哲,高伯龙..混合物薄膜折射率与膜孔洞率关系研究[J].国防科技大学学报,1990,12(1):52-58,7.
国防科技大学学报
OA
CSCD
ISSN：
1001-2486
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