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MeV硅离子注入砷化镓的两步快退火

张燕文 姬成周 李国辉

北京师范大学学报：自然科学版1992，Vol.28Issue(4)：P.483-490,8.
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北京师范大学学报：自然科学版1992，Vol.28Issue(4)：P.483-490,8.

MeV硅离子注入砷化镓的两步快退火

张燕文 1姬成周 1李国辉1

作者信息

  • 1. 北京师范大学低能核物理研究所,北京新外大街100875
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摘要

关键词

砷化镓/离子注入/硅离子

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张燕文,姬成周,李国辉..MeV硅离子注入砷化镓的两步快退火[J].北京师范大学学报：自然科学版,1992,28(4):P.483-490,8.

基金项目

国家自然科学基金 （）

北京师范大学学报：自然科学版

OACSCD

0476-0301

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