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高能注入在研制垂直源区GaAs MESFET中的应用

韩德俊 李国辉 王琦 韩卫

北京师范大学学报:自然科学版1992,Vol.28Issue(4):P.563-564,2.
北京师范大学学报:自然科学版1992,Vol.28Issue(4):P.563-564,2.

高能注入在研制垂直源区GaAs MESFET中的应用

韩德俊 1李国辉 1王琦 1韩卫1

作者信息

  • 1. 北京师范大学低能核物理研究所,北京新外大街100875
  • 折叠

摘要

关键词

高能注入/砷化镓/MESFET

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

韩德俊,李国辉,王琦,韩卫..高能注入在研制垂直源区GaAs MESFET中的应用[J].北京师范大学学报:自然科学版,1992,28(4):P.563-564,2.

基金项目

国家自然科学基金 ()

北京师范大学学报:自然科学版

OACSCD

0476-0301

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